愛德華羅茨泵基本概述：

 

　　以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的真空泵，可用于壓力范圍為0.01至10mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。

 

　　愛德華羅茨泵功能和優勢：

 

　　1、適用于在0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr的壓力范圍下、需要超過3000m3h1/1776ft3min-1的高抽速的應用場合。

 

　　2、它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

 

　　3、泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：

 

　　4、安靜的無振動運行。

 

　　5、牢靠且防腐蝕。

 

　　6、先進的軸封技術，處理艙中不會出現油污染

 

　　7、防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

 

　　8、經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降低。

 

　　9、軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

 

　　10、動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

　　愛德華羅茨泵應用：

 

　　半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2激光等等。